SEMI S2 / S8 ガイドライン

SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International)は、半導体製造装置／フラットパネルディスプレイ装置と材料メーカーの国際的な業界団体で、メンバーの世界規模における市場拡大と、顧客や業界、さらには行政や監督部署の担当者との円滑なコミュニケーションを図ることを目標としています。テュフ ラインランドでは、SEMI S2/S8適合へ向けた設計段階からの試験およびトレーニング、SEMI S2/S8評価レポートの作成、化学的検査およびトレーサーガステストなど、総合的なSEMI評価サービスを提供しています。

テュフ ラインランドでは、SEMI S2/S8適合へ向けた設計段階からの試験およびトレーニング、SEMI S2/S8評価レポートの作成、化学的検査およびトレーサーガステストなど、総合的なSEMI評価サービスを提供しています。

• SEMI評価専門チームの幅広い経験と豊富な実績をもとに、製品安全評価を行ことができる
• SEMI S2 で要求されるトレーサーガステストやリスクアセスメントもサポートしている

効率よくSEMI評価を行うために、以下のような書類が必要です。

1. リスクアセスメント
2. 供給電源の要求事項を含む（評価対象となるオプションがあればそれを含む）製品仕様
3. マニュアル 英語版
4. 構成図回路図 (主要回路)回路図 (安全に関係する回路)
5. 部品リストまたはCDF完成品として購入されたサブユニット一次側部品安全に関係する回路中の部品 英語版
6. 認証に関する情報 (部品リストに記載可)UL、NRTL、IEC、EN 規格 など
7. 過電流、過負荷保護装置の情報どの部品が保護されているか保護装置はどの規格に対して承認されているか装置保護はどのように選択されたか
8. 電離放射に関する情報種類放射レベル
9. 電離放射以外の放射に関する情報種類 (UV、IR、laser...)周波数／波長機器から発せられる放射エネルギーレベル
10. 化学物質に関する情報種類量材料安全データシート（MSDS） 英語版
11. 地震保護に関する情報
12. 保護システムに関する情報
13. プラスティック材料の種類、難燃性クラス(UL定格)、及び使用位置に関する情報
14. アコースティック ノイズ（騒音）の情報 テストレポート
15. SEMI S9に沿って実施されるテストのテストレポート（適用される場合）
16. SEMI S8 評価で要求される機械操作についての情報（機械の種類による）

半導体製造装置の排気換気システムの妥当性確認手段として広く認められており 、SEMI S2にも排気換気システムの評価方法として推奨されています。危険化学物質を用いている半導体製造装置の安全性評価には必要不可欠な試験です。テュフ ラインランド ジャパンでは半導体製造装置の安全性評価の一部としてトレーサーガステストを実施 いたします。また装置の排気換気システムの最適化設計のためにトレーサーガステストを実施することも可能です 。

SEMI S2の評価では、リスクアセスメントの要求もあります。テュフ ラインランド ジャパンは、このリスクアセスメント業務を、設計開始段階から製品化段階にいたるまでサポートしています。

テュフ ラインランド ジャパンは、国際規格・欧州規格・各国規格に基づいて半導体製造装置・製造装置・ロボットなど、産業機械に使用される電線（ケーブル）の認証サービスを提供しています。

半導体製造装置・製造装置・ロボットなどの産業機械に使用される電線は納品される国によって要求される法規・規格が異なり、多くの国で電線に対する法規要求は強制となっています。

また、以下のような最終製品の認証制度、要求法規・規格から電線への規格適合の要求をされる場合があります。

・SEMI規格、認証

・CEマーキング（機械規則・低電圧指令）

・各国の機械・電気安全法規、ガイドライン、認証

テュフ ラインランド ジャパンでは、各国電線規格の試験、認証の実施、欧州規格においては認証マークであるテュフマークライセンスサービスを実施しています。また、ケーブルへの適合や新規ケーブル設計を検討されているお客様向けに要求内容の解説などの技術サポートも実施しています。

【対象国】：以下は例です。別途お問い合わせください。

・欧州 CEマーキング向け テュフマークライセンス

・北米 アメリカ合衆国、カナダ cTUVus認証

・メキシコ NOM認証

・ブラジル INMETRO認証

・インド ISI/SI/BIS認証

・日本 電気用品安全法（PSE）TUV-S Mark認証

【対象製品】：

• 半導体製造装置 / 各種製造装置（制御盤） / 各種産業機械 / 産業用ロボット / 自動搬送装置、AGV / 系統用蓄電池（BESS） – 電力貯蔵システム、エネルギー貯蔵システム、バッテリーエナジーストレージシステムなど

【評価規格】：以下は一例です。

• IEC 60227 / IEC 60502 / VDE 0812 / NBR NM 247-3 / NBR 7288 / NBR 7289 / IS 694 / UL 758 / CSA C22.2 No. 127 / CSA C22.2 No. 210

【発行物】：
1. テュフマークライセンス
2. 各国認証
3. テストレポート

【サービスに関するお問い合わせ先】

テュフ ラインランド ジャパン株式会社
製品部 産業機器課 窪 大嘉（くぼ ひろよし）
Email: hiroyoshi.kubo@tuv.com

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