SEMI S2 / S8 ガイドライン

半導体製造装置の総合的なSEMI評価サービス

SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International)は、半導体製造装置／フラットパネルディスプレイ装置と材料メーカーの国際的な業界団体で、メンバーの世界規模における市場拡大と、顧客や業界、さらには行政や監督部署の担当者との円滑なコミュニケーションを図ることを目標としています。テュフ ラインランドでは、SEMI S2/S8適合へ向けた設計段階からの試験およびトレーニング、SEMI S2/S8評価レポートの作成、化学的検査およびトレーサーガステストなど、総合的なSEMI評価サービスを提供しています。

一目で分かるメリット

  • SEMI評価専門チームの幅広い経験と豊富な実績をもとに、製品安全評価を行ことができる
  • SEMI S2 で要求されるトレーサーガステストやリスクアセスメントもサポートしている

半導体製品およびフラットスクリーン製品に関するサービス

テュフ ラインランドでは、SEMI S2/S8適合へ向けた設計段階からの試験およびトレーニング、SEMI S2/S8評価レポートの作成、化学的検査およびトレーサーガステストなど、総合的なSEMI評価サービスを提供しています。

SEMI評価に必要な書類

効率よくSEMI評価を行うために、以下のような書類が必要です。

  1. リスクアセスメント
  2. 供給電源の要求事項を含む（評価対象となるオプションがあればそれを含む）製品仕様
  3. マニュアル 英語版
  4. 構成図回路図 (主要回路)回路図 (安全に関係する回路)
  5. 部品リストまたはCDF完成品として購入されたサブユニット一次側部品安全に関係する回路中の部品 英語版
  6. 認証に関する情報 (部品リストに記載可)UL、NRTL、IEC、EN 規格 など
  7. 過電流、過負荷保護装置の情報どの部品が保護されているか保護装置はどの規格に対して承認されているか装置保護はどのように選択されたか
  8. 電離放射に関する情報種類放射レベル
  9. 電離放射以外の放射に関する情報種類 (UV、IR、laser...)周波数／波長機器から発せられる放射エネルギーレベル
  10. 化学物質に関する情報種類量材料安全データシート（MSDS） 英語版
  11. 地震保護に関する情報
  12. 保護システムに関する情報
  13. プラスティック材料の種類、難燃性クラス(UL定格)、及び使用位置に関する情報
  14. アコースティック ノイズ（騒音）の情報 テストレポート
  15. SEMI S9に沿って実施されるテストのテストレポート（適用される場合）
  16. SEMI S8 評価で要求される機械操作についての情報（機械の種類による）

トレーサーガステスト

半導体製造装置の排気換気システムの妥当性確認手段として広く認められており 、SEMI S2にも排気換気システムの評価方法として推奨されています。危険化学物質を用いている半導体製造装置の安全性評価には必要不可欠な試験です。テュフ ラインランド ジャパンでは半導体製造装置の安全性評価の一部としてトレーサーガステストを実施 いたします。また装置の排気換気システムの最適化設計のためにトレーサーガステストを実施することも可能です 。

リスクアセスメントサポート

SEMI S2の評価では、リスクアセスメントの要求もあります。テュフ ラインランド ジャパンは、このリスクアセスメント業務を、設計開始段階から製品化段階にいたるまでサポートしています。

SEMI

SEMI は、半導体産業において、製造工場で使用される装置類やその安全性に関して数多くのガイドラインを出版しています。代表的なSEMIのガイドラインには「SEMI S2-0703、半導体製造装置の安全性に関するガイドライン」、「SEMI S8-1103、半導体製造装置の人間工学に関するガイドライン」などがあります。全11巻からなるSEMI国際規格集の内容は、化学、ガス、自動装置、ハードウエア・ソフトウエア、材料、パッケージング、マイクロリソグラフィー、設備に関する規格、安全に関するガイドライン、トレーサビリティー、フラットパネルディスプレイに及んでいます 。

SEMI S2 ガイドライン

SEMI S2は、1990年代初め、主に北米の半導体業界が中心となって考案されたガイドラインで、人体の健康と安全に影響を及ぼす可能性のある危険が示されています。世界の大手半導体メーカーの多くは、製造装置購入契約時の条件のひとつとしてSEMI S2に基づく第三者評価を要求しています。SEMI S2には、半導体製造装置の作業環境、衛生および安全について最低限考慮しなければならない項目が述べられています。また、SEMI S2には人間工学に関する要求事項があり、さらに詳しく評価するためにSEMI S8を参照しています。